精密光学真空镀膜机
LEYBOLD OPTICS IBS 系列
IBS 系列提供具有超低光学镀膜损耗的离子束溅射技术，非常适合用于激光光学装置、陀螺仪、计量学、显微镜学、电信和其他要求苛刻应用的高精度镀膜。
LEYBOLD OPTICS IBS 机器简介
LEYBOLD OPTICS IBS 工艺用于在基材上镀膜
主要优点
靶材灵活性高
从广泛的靶材中进行选择，可同时在工艺腔室中应用三种不同的靶材，满足严苛的生产要求。
可在弯曲工件或大面积工件上镀膜
LEYBOLD OPTICS IBS 系列可满足弯曲表面或更大直径工件的镀膜需求，镀膜直径可高达 600 mm。
缺陷密度低，散射值低
IBS 系列中的离子束溅射技术实现超低镀膜缺陷。工艺腔室中的驱动系统使部件进行优化定位，以获得更高的镀膜性能。
应用和光谱
突出特点
选择机器尺寸
可对直径达 600 mm 的工件架进行镀膜
您可选择 IBS 1400 对直径达 400 mm 的基底进行镀膜，或选择 IBS 1600 对直径达 600 mm 的基底进行镀膜，为现在和将来提供更广泛的镀膜能力。
理想的膜层均匀性和可重复性
工件架上光学监控
IBS 系列中经全球用户验证的 Leybold Optics OMS 5100 光学监控系统可精确控制每一层的波密沉积过程，满足对激光器、陀螺仪反射镜、计量学、显微镜学和电信应用的挑战性需求。
性能佳，无需均匀挡板罩和挡板系统
采用智能化设计的机器尽可能降低污染颗粒密度
传统系统依靠均匀挡板来控制均匀性，并在靶材上配备挡板用于靶材预处理，这种结构会在镀膜过程中形成污染颗粒。IBS 镀膜机系列在没有遮罩或挡板的情况下也可达到高水准的均匀性并产生很少的颗粒，为您提供更好的整体镀膜质量。
自动装载锁定系统
无需破坏真空环境即可装载工件架
为保持加工腔室处于稳定的加工条件，您可在 LEYBOLD OPTICS IBS 1400 HP 设备中增加一个自动装载系统。
更多信息
服务和培训
布勒的服务和培训旨在使您及时了解新产品和技术，助您提升信心和积累经验。
相关产品
No Results Found
联系我们
德国阿尔策瑙
中国北京
+86 10 5379 3366
中国北京
经济技术开发区
永昌南路 2 号 5 号厂房 邮编 100176
