离子束表面校型设备
LEYBOLD OPTICS IBF series
离子束表面校型 (IBF) 在真空条件下提供一种高质量的校正抛光工艺，利用加速原子消除微小误差，实现高准确度，在亚毫米范围内局部分辨率可达到几纳米。
主要优点
可以对几乎任何形状抛光
六轴直接驱动系统可确保离子源始终与工件表面成直角（正交），IBF 工艺可加工表面边缘。
表面质量达到 λ/200 以上
IBF 可校正任何光学表面中非常微小的误差，实现高准确度，这使其成为理想的终端加工步骤。
全自动，重复性高
我们的全自动工艺具有迭代工作流，可在不同的离子束孔径下工作，无需在不同的工艺间进行工件测量，从而提供可预测的加工时间。
突出特点
先进的软件
易于安装和使用
界面友好的软件对不同来源的测量数据提供分析和可视化呈现，为模拟加工过程做好准备。全自动机器无需任何人工监测，您可自定义图形用户界面以体现应用。
ISERM
刻蚀速率直接测量
IBF 测量系统使用低相干技术以高精度确定离子源的刻蚀速率剖面。它包括一个可互换的样品支架用于各种不同的材料。一个测量头即可进行多次测量。
孔径变换器
多达五个快门
您可在操作过程中（在真空腔室内）更改离子束源孔径，最多可使用五个孔径，测量直径范围从 0.5 mm 至 20 mm。
关键主题
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