La série IBS est conçue pour des filtres et couches minces déposées par pulvérisation ionique. De très faibles pertes permettent une utilisation pour différentes applications comme : optique laser, gyroscopes, métrologie, microscopie, télécommunications et autres applications exigeantes.
Présentation de la machine LEYBOLD OPTICS IBS (Ion Beam Sputtering)
L'équipement IBS permet de traiter des substrats
Vous pouvez utiliser différentes cibles parmi une large gamme de matériaux et traiter 3 matériaux différents en même temps dans la même chambre pour répondre aux exigences de fabrication les plus difficiles.
La série Leybold Optics IBS series répond à vos besoins en matière de courbure et de diamètres de substrats toujours plus grands, pouvant traiter des diamètres atteignant les 600 mm.
La technologie de la pulvérisation cathodique par faisceau d’ions de la série IBS vous offre une production générant un minimum de défauts. Le Système de traitement à l’intérieur de la chambre de traitement permet d’optimiser le positionnement des composants les uns par rapport aux autres pour des performances encore plus pointues.
Choisissez l’IBS 1400 pour des substrats d’un diamètre maximal de 400 mm ou l’IBS 1600 pour un diamètre maximal de 600 mm afin d’élargir vos capacités de dépôt de couches minces actuelles et vos futures applications.
Notre système de contrôle optique OMS 5100 conçu et développé par Leybold OPTICS a fait déjà ses preuves à l'échelle internationale. Il est capable de reproduire exactement le process calculé de chaque couche, répondant ainsi aux plus hautes exigences des applications laser, de gyroscopes, de métrologie, de microscopie et de télécommunications.
Les systèmes classiques qui reposent sur l’utilisation de masques de répartition pour obtenir l’uniformité avec des shutter de distribution pour préparer la source peuvent générer des particules indésirables. La série IBS de machines de dépôt sous vide atteint un haut niveau d’uniformité et une faible génération de particules sans masque de répartition, ni shutter de préparation, vous apportant ainsi une meilleure qualité de traitement /couches minces globales.
La chambre de process reste sous vide et les conditions restent stables grâce à son système de sas de chargement automatique pour les équipements IBS 1400 de Leybold Optics.
Les prestations et formations de Bühler sont conçues pour vous permettre de rester à jour sur les produits et technologies, vous apportant ainsi la sérénité et l’expérience dont vous avez besoin.
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